合痩市。</p>
乘坐高铁的卫明，来到了这座城市。</p>
为此他特意跟樊姐请了两天假，提前处理了三十多名结石病人，合计腾出三天时间，就为了解决掉一个问题。</p>
人才！</p>
高端光刻机的研发人才。</p>
而且卫明已经有了明确的招募目标，他认为的最合适最优秀的人才，就在合瘦市这边。</p>
此人名叫蒲伟才。</p>
卫明是在网上查找相关信息的过程中，看到了多条关于此人的新闻。</p>
也注意到此人带领的研发团队，取得的跟光刻机相关的多项研究成果，了解了此人的牛叉之处。</p>
因为这些天卫明也在大力学习一些跟光刻机相关的知识，了解到了EUV光刻机的几大核心技术。</p>
一个，组装。</p>
光刻机最重要的技术之一是组装，就是把所有的元件组装起来，然后使分辨率达到最高，同时套刻精度达到最佳。</p>
比如机器内部温度的变化要控制在千分之五度，得有合适的冷却方法，精准的测温传感器。一台光刻机中，包含十几个分系统，几万个机械件，数百个的传感器，每一个都要稳定。</p>
二，控制。</p>
光刻机是制造业内对精密性要求最高的产品。光刻的原理就像在米粒大小的面积上，雕刻纳米级大小的文字，对于误差的要求可想而知。</p>
比如光刻机里有2个同步运动的工件台，一个载底片，一个载胶片。两者需始终同步，误差在2纳米以下。两个工作台由静到动，加速度跟导弹发射差不多。</p>
三，光源。</p>
制造EUV需要极高的能量。EUV能被空气吸收，所以光刻环节必须耗电保持真空环境。更夸张的是，EUV还能被透镜吸收，所以只能用十几次面透镜，通过不断反射将光源集中。</p>
每反射1次，EUV的能量就会损失3成。十几次反射后，到达晶圆的光线理论上只剩下2%。从能连赶上看，寒国某半导体企业曾经说过，极紫外光EUV的能源转换效率只有0.02%左右。</p>
四、镜头。</p>
光刻机的中心镜头对于镜头要求较高，位于光刻机中心的镜头，由20多块锅底大的镜片串联组成，需要高纯度透光以及高抛光。</p>
目前，符合光刻机要求的镜片还无法靠机器制造，先进光刻机镜头全部由手工打磨而成，能够达到这一标准的公司并不多，全世界范围内也就一两家，全部是西方老牌公司。</p>
这四大类的核心技术中。</p>
卫明了解到这位牛人蒲伟才跟他的技术团队，在短短的十年时间里，一共攻克了两项。</p>
分别是双工台技术与光源技术。</p>
他带领团队研发出的高精密双工台，控制精度也达到了2纳米，跟国外最先进水平，达到了同等先进的程度，抹平了技术差距，可以说是打成了平手。</p>
在光源技术方面，蒲伟才也是只用了短短几年时间，利用国内在激光技术领域的领先地位，以及材料方面的优势，开发出的EUV光源系统，最终能源利用率达到了5%。</p>
较之于艾思迈EUV光刻机的2%，能源利用率提升了一倍还多！</p>
这意味着光刻机在使用的过程中，能节省一半多的电，减少产生大量的热量，系统的稳定性能提高不少。</p>
也就是说，在EUV光刻机领域，蒲伟才这位牛人，以及他带领的技术团队，四大核心技术中，他们攻破了两个。</p>
剩下的两大核心技术中。</p>
组装技术方面，魔都微电子公司近些年已取得了巨大突破，具备了将10万多个零件组合成一台光刻机，并让其长期稳定工作下去的能力。</p>
唯独镜头这块，国内还迟迟未能突破，因为艾思迈公司EUV光刻机所用的镜头，并不是机器制造出来的，而是镜头制造公司的工程师们，用20年时间，花几十万个小时精心打磨出来的，是工匠精神做到极致的产物！</p>
华国想要追赶，却几乎找不到这种能耐心坐下来打磨几十年，能够把一面镜片，打磨到相当于一个蓝星大小的物体上，顶多只