再开启了试运行。</p>
“释放锡滴,初始频率每秒1滴。”蒲伟才进行指挥说道。</p>
“开始释放。”</p>
“两次击打成功,摊平形状完美,激发效果完美!”</p>
“增加释放频率。”</p>
“每秒50次试验成功。”</p>
“每秒500次试验成功!”</p>
“每秒5150次试验成功!追平最高纪录。”操作员声音微颤的道。</p>
“继续增加!往上加高一点!”</p>
蒲伟才也开始激动了,这才第一次进行调试而已,居然就追平了上一套零件不断调试数百次创造的最高纪录?</p>
“每秒5500次试验成功,创造新的纪录!”</p>
“再加!”</p>
每秒7000</p>
每秒9000</p>
每秒1万</p>
……</p>
一直加到每秒2万,满足使用频率要求。</p>
所有人都被震惊到麻木,依然是取得成功!</p>
“再加,再往上加!”</p>
每秒3万</p>
每秒4万</p>
每秒4万5</p>
每秒5万!</p>
“锡滴释放频率达到上限,特么还是取得成功!”操作员毫无形象的狂喊。</p>
“转化光强是额定光强的2.5倍!”</p>
向广林眼睛通红的大吼:“这意味着这台光刻机处理晶元的效率,至少艾思迈EUV的两倍以上,我们一台,能顶他们两台!”</p>
“你们别叫!”</p>
蒲伟才高高挥起了手,目光盯着持续时间后的数据,极力压制情绪的说道:“看看每秒5万滴锡滴,每秒10万次击打的情况下,这个系统能稳定工作多长时间?你们别吵,你们的噪音,可能影响到它的发挥。”</p>
所有人都安静了下来。</p>
屏住了呼吸。</p>
目光都死死盯上了持续时间。</p>
5分钟</p>
15分钟</p>
第29分38秒</p>
由于累积误差越来越大,没有纠偏系统进行纠正,整个系统终于自动停止了运行。</p>
啪!</p>
蒲伟才右拳用力轰击自己左掌,满脸涨红的说道:“3分钟就足够了,只要3分钟,就不用配套设计非常复杂的纠偏系统了,没想到它坚持了足足半个小时!我们只需设计一套非常简单的纠偏系统,就能让它长期稳定的工作了,整个系统的复杂度至少降低10%,为我们省下大量的时间!”</p>
“太厉害了,太神奇了!”</p>
作为项目负责人,他自己也大呼小叫:“光源问题彻底解决了,双工台现成就有,镜头完全能用,我们的EUV光刻机,完成度至少超过90%!”</p>
“我们完全看到胜利的希望了!”</p>
说着,他泪如坝崩,几欲捧面大哭一场。</p>
坚持十几年了!这一次,他是真的看到希望了,就在他的面前,已然触手可及。</p>
见他如此,跟他一个团队的其他成员,也都擦着眼角,发出呜呜的声音。</p>
“还没真成功呢,眼泪不如留到庆功宴。”</p>
一个略有些扫兴的声音传来。</p>
却听卫明说道:“蒲博士,刚才你还一脸抗拒的样子,怀疑我打磨过的东西不能用,现在呢?信我说的话了吧,零件问题,对我公司不是个问题,你说的技术难点,感觉也不怎么难。”</p>
“没错没错。”</p>
蒲伟才连忙擦泪,露出一张童真笑脸:“卫总你说的没错,只要卫总出马,光刻机,没有任何什么难点,我相信在卫总的带领下,我们能解决一切技术问题!”</p>
他这次是真心服了,眼里只有崇拜。</p>
“没错,完全多亏了卫总。”