“双工台模块交互运动的误差必须小于2纳米，初始加速度大于导弹发射……”</p>
“为了过滤杂光，锅盖反射镜片内部足有四十层，每层表面加工误差不得大于1纳米……”</p>
“还有组装技术，即便每个模块的精度都达标，组装过程中，也必须确保误差几乎为零……”</p>
“综上我们能得出结论：制造一台EUV光刻机的难度，至少是氢弹的十倍。”</p>
“如此高端的工业制造技术，理论上，华国至少还需要十年时间，才能逐渐吃透和掌握，但……”</p>
轰地一声！</p>
身后大屏幕上，落下两行大字：</p>
黑洞科技，提前攻克高端制造技术</p>
暴龙EUV，于今日宣告制造成功！</p>
“哇~”</p>
观众躁动一片，齐齐惊呼出声，甚至起身站立。</p>
当然口说无凭，接下来的一个小时，蒲伟才开始讲述国产暴龙EUV的种种技术特点。</p>
使用132纳米激发光源，激发效率是193纳米光源的两倍多。</p>
金属液锡的击打频率，从最开始的50次，500次，5000次，逐渐达到可以使用的2万次，最终追平国外的每秒5万次！</p>
国产锅盖镜片，反射率为82%（国外为70%），经过十余次反射后，最终能量利用率达11.3%，艾思迈EUV只有2%。</p>
末端曝光功率，超过了625W，是艾思迈EUV的2.5倍。</p>
至此。</p>
国产EUV按理说已具有了足够的领先优势，完全可以宣布成功，并将产品投放市场。</p>
“不够，领先这点程度还不够！”</p>
台上的蒲伟才摇着头道：“因为光源系统极高的工作稳定性，索性，我们砍掉了复杂程度极高的‘纠偏系统’，再加入一台‘光源系统’，用两台超稳定的光源系统，交替工作，彻底代替纠偏系统，如同按上了两颗强有力的心脏，其可靠性不会比一颗心脏+纠偏系统差多少，并让整个系统大为简化，降低了生产成本。”</p>
“除此之外！”</p>
“两颗心脏如果同时开展工作，同时产生EUV光源，那么这台暴龙EUV，将进入‘狂暴状态’！”</p>
“狂暴状态下，光刻功率翻倍，加工晶圆的能力翻倍，生产效率再次翻倍。”</p>
“该状态下，十分钟内加工出的晶圆数量，超过艾思迈EUV工作一小时的加工数量。”</p>
“一台暴龙，胜过六台艾思迈！”</p>
“这就是所谓的狂暴模式！”</p>
哇~</p>
哇哇！</p>
台下惊呼声一片，所有人都起身站了起来。</p>
直播平台的弹幕中，也是一片的“牛逼”、“卧槽”、“怎么可能”、“真这么牛叉”的评论，无数网友被惊掉一地下巴。</p>
“一台要比六台强，这超出的不是一点点，简直是天顶星科技了！”</p>
龙耀公司的于大嘴坐不住了，都想冲到台上，带走蒲伟才，让他领自己去看看那台暴龙EUV。</p>
“那么那台暴龙EUV在那呢？”</p>
这时，台上的蒲伟才接着道：“肯定有人问，我刚刚对着PPT讲了那么多的技术原理，吹的那么厉害，真机又在那里呢？我们准备的现货产品呢？”</p>
“不要急，接下来交给工厂，马上开始真机操作展示，进入现场直播环节！”</p>
轰！</p>
所有人精神一振，不论现场观众还是看直播观众，都全体站立，挺直了脖子。</p>
目光死死盯着正在工厂内部进行的真机演示画面。</p>http://www.123xyq.com/read/2/2787/ )